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高量程加速度计的力学性能分析
被引：10
作者：
王钻开
宗登刚
陆德仁
机构：
[1] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
来源：
关键词：
静态测试;
加速度传感器;
微电子机械系统;
灵敏度;
频率;
D O I：
10.16579/j.issn.1001.9669.2002.04.010
中图分类号：
TH824.4 [];
学科分类号：
摘要：
提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明 ,当梁与质量块的厚度比变得较大时 ,梁的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该方法计算得到的频率和忽略质量块变形与梁质量所得到的频率与ANSYS模拟相比 ,偏差由 90 %下降到 15 %。最后进行了静态测试 ,结果与改进模型基本相符
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页码：515 / 517
页数：3
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