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微电机和微动力MEMS
被引：5
作者：
齐臣杰
刘理天
谭智敏
机构：
[1] 清华大学
来源：
关键词：
微电机;
微执行器;
微发电机;
微涡轮发动机;
微机电系统;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM38 [微电机];
学科分类号：
摘要：
微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支，本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。
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