采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究

被引：6

作者：

孙杰

刘铁根

张以谟

江俊峰

机构：

[1] 天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室,天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室,天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室,天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室天津,天津,天津,天津

来源：

仪器仪表学报 | 2005年 / 01期

关键词：

干涉; 调制度; 光程差; 精度分析;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2005.01.002

中图分类号：

TP274.5 [];

学科分类号：

摘要：

提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零光程差位置。还对光电测量系统中的机械与光电转换精度、采样点位置、采样点密度、双光束光强比、光源相干长度等多方面对测量精度的影响进行了定量分析。

引用

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