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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）
被引：9
作者：
李汉广
机构：
[1] 中南工业大学
来源：
关键词：
化学气相沉积;
化学沉积;
难熔金属;
六氟化钨;
氟化物;
卤化物;
沉积结构;
独联体;
D O I：
暂无
中图分类号：
TF804.6 [气相热分解法];
学科分类号：
080603 ;
摘要：
独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）李汉广（中南工业大学长沙４１００８３）３掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时，可能得到五种类型的沉积结构（图８）：ａ．树脂状结构；ｂ．佳状结构；Ｃ．细晶结构：ｄ．层状结构...
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