用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统

被引：19

作者：

杨晓飞

张晓辉

韩昌元

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光学机械质检中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光学机械质检中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光学机械质检中心长春,长春,长春

来源：

光学学报 | 2004年 / 01期

关键词：

应用光学; 计算机辅助装调; 像差逐项优化; 泽尼克系数;

D O I：

暂无

中图分类号：

O435 [几何光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

在对复杂光学系统粗装调完成之后 ,利用自准干涉检验的办法 ,采集光学系统各视场的干涉图 ,然后用干涉条纹分析软件算出整个系统波前误差 ,其量值用泽尼克系数来表示 ,通过泽尼克系数与系统的波像差的关系 ,判断要调整的目标值 ,即当前在光学系统中占主导地位的波前误差 ,对主导误差优化 ,得到系统的失调量 ,由光学设计软件确定其正确后 ,进行一次精密装调。然后进行多次这样的计算机迭代和优化 ,直到光学系统达到最好的调整状态。运用此方法来装调大口径 ,长焦距离轴三反射镜系统 ,在波长λ等于 6 32 .8nm时 ,该离轴三反射镜系统中心视场波像差均方根值达到了 0 .0 94λ ,+1°视场和 - 1°视场的均方根值分别为 0 .10 6λ和 0 .12 5λ。

引用

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