金属互连电迁移噪声的多尺度熵复杂度分析

被引：13

作者：

何亮 ^{[1
]}

杜磊 ^{[1
]}

庄奕琪 ^{[2
]}

李伟华 ^{[2
]}

陈建平 ^{[1
]}

机构：

[1] 西安电子科技大学技术物理学院

[2] 西安电子科技大学微电子学院

来源：

物理学报 | 2008年 / 10期

关键词：

电迁移; 噪声; 多尺度熵; 复杂度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG111 [金属物理学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ;

摘要：

针对传统频域方法用于分析金属铝互连中的噪声信号的局限性,本文采用多尺度熵方法分析电迁移噪声时间序列.结果表明在电迁移早期,噪声信号较不规律,复杂度较大;随空洞成核的发生,噪声信号规律性增强,复杂度明显减小,反映出随电迁移过程的进行系统的混乱度不断减小.通过与传统表征参量的对比,证明多尺度熵能够对电迁移失效过程进行表征.

引用

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页码：6545 / 6550

页数：6

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共 1 条

[1]

量子通信和量子计算[M]. 国防科技大学出版社 , 李承祖等编著, 2000