电子级多晶硅的生产工艺

被引:156
作者
梁骏吾
机构
[1] 中国科学院半导体研究所!北京
关键词
多晶硅; 三氯氢硅法; 硅烷法; 流程; 生产;
D O I
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中图分类号
学科分类号
摘要
就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于 10 0 0t/a级的电子级多晶硅生产。
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[1]   兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考 [J].
梁骏吾 .
中国工程科学, 2000, (06) :33-35+48