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电子级多晶硅的生产工艺
被引:156
作者:
梁骏吾
机构:
[1] 中国科学院半导体研究所!北京
来源:
关键词:
多晶硅;
三氯氢硅法;
硅烷法;
流程;
生产;
D O I:
暂无
中图分类号:
学科分类号:
摘要:
就建设 10 0 0t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比 ;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于 10 0 0t/a级的电子级多晶硅生产。
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