离子束技术制备Ag-Cu固体润滑膜的研究

被引：5

作者：

张乔根

万江文

徐式如

机构：

[1] 西安交通大学电气工程学院!西安

来源：

真空科学与技术 | 1995年 / 06期

关键词：

固体润滑; 薄膜; 离子束;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1995.06.013

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

介绍了采用离子束技术（包括离子束溅射和离子注入）在钢表面沉积Ag-Cu合金固体润滑膜的方法。通过现代测试技术研究和测量了Ag－Cu合金固体润滑膜表面的显微硬度、磨痕形貌、摩擦系数等，结果表明经离子注入的Ag30Cu70合金膜具有优良的润滑和耐磨能力。还分析了离子注入的作用及Ag-Cu合金膜的减摩机理。

引用

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