基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法

被引：4

作者：

马龙

郭彤

赵健

陈津平

傅星

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

光电子激光. | 2011年 / 22卷 / 01期

基金：

天津市自然科学基金;

关键词：

微结构; 白光干涉技术; 倾斜扫描; 大范围; 纳米测量机(NMM);

D O I：

10.16136/j.joel.2011.01.023

中图分类号：

TP391.41 [];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

针对白光垂直扫描干涉技术由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大横向范围的测试。本文使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描,以扩展其横向测量范围,提高测试效率。基于纳米测量机(NMM)搭建了测试系统,由NMM代替传统的压电陶瓷(PZT)带动被测物体进行倾斜扫描。分析了倾斜扫描的测量原理,针对本系统提出了倾斜扫描的实现方法,通过对MEMS器件上台阶结构的测试说明本方法的有效性。

引用

页码：91 / 94

页数：4

共 4 条

[1] 计量型扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制 [J].