溶胶-凝胶法制备MgO-Al2O3-SiO2系LTCC基板材料及其结构性能研究

被引:4
作者
张昭瑞
纪箴
王燕斌
机构
[1] 北京科技大学材料物理与化学系
关键词
MgO-Al2O3-SiO2系; LTCC; 溶胶-凝胶法;
D O I
暂无
中图分类号
TQ174.1 [基础理论];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
采用溶胶-凝胶法制备MgO-Al2O3-SiO2系低温共烧陶瓷(LTCC)基板粉料的先驱体,经700℃焙烧制得LTCC基板粉体,在850、900℃下烧结成LTCC基板样品。研究样品的相结构、微观结构、介电性能等。结果表明,样品含有多种晶相,微观结构为孤岛结构和柱状晶结构,介电常数、介电损耗、绝缘电阻、密度基本符合LTCC基板要求。
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页码:72 / 74+78 +78
页数:4
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