微零件内孔不规则边缘光学特征和识别技术

使用所研制的光学显微检测系统,对准LIGA法加工的微零件内孔不规则边缘光学特征进行研究,提出了根据灰度变化对微零件内孔中毛刺进行识别的方法。并提出了一种简单的测量毛刺厚度和高度的方法,测量精度达到5μm。根据沿微零件内孔半径方向的灰度曲线图,得出了在灰度的阈值变换函数中所需要的阈值。用拉普拉斯算子对阈值变换得到的黑白二值图像进行微分运算,准确地提取了微零件内孔的边缘。将两种常用的测量圆的方法——最小二乘拟合法和最大内接圆法进行比较,从数据和图像两方面说明了在微装配中,对微零件内孔的测量应采用最大内接圆法,归纳出用图像处理技术测量微零件内孔的方法。试验结果证明,这种方法对微零件内孔的测量能够满足微装配的要求。