基于干涉条纹跟踪实现纳米级位移测量的方法研究

被引：15

作者：

陈本永

李达成

朱若谷

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系!北京

[2] 中国计量学院计量与测控系!杭州

来源：

光学技术 | 2001年 / 03期

关键词：

干涉条纹; 纳米测量; 图像处理;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.03.011

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

设计了一套干涉条纹图像实时采集处理系统。在分析迈克尔逊干涉条纹特征表象的基础上 ,给出了通过跟踪干涉条纹的移动量测量被测对象纳米级位移量的理论公式 ;提出了干涉条纹特征点的提取与跟踪算法 :分段线性变换、方形窗口中值滤波和门限化边缘提取 ,给出了基于统计学原理的通过计算多条干涉条纹移动量获得被测对象纳米级位移量的计算公式。实验结果表明了该方法的有效性和实用性

引用

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