柔性框架式爬行驱动器

被引：5

作者：

张定会

邵惠鹤

机构：

[1] 上海交通大学上海!

来源：

关键词：

微动工作台; 驱动器; 柔性铰链; 行程; 分辨率;

D O I：

10.16086/j.cnki.issn1000-0380.2000.02.006

中图分类号：

TH706 [制造工艺];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

为了解决微位移技术中大行程和高分辨率间的矛盾，研制了柔性框架式爬行驱动器，简化了微动工作台的驱动装置。其行程达到毫米级，仍保持较高的分辨率。具体介绍微动工作台的结构和工作原理，柔性框架设计基本模型，电致伸缩微位移器特性分析，爬行驱动器特性分析。

引用

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