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微电子机械系统(MEMS)发展展望
被引：9
作者：
李志坚
机构：
[1] 清华大学
来源：
关键词：
MEMS,微机械加工,应用,科学,技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP36 [微型计算机];
学科分类号：
081201 ;
摘要：
本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论，并扼要论述其重要意义
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