多弧离子沉积(TiFeCr)N多元膜

被引：22

作者：

谢致薇

李瑜煜

林松盛

陈海燕

谢光荣

黄小平

机构：

[1] 广东工业大学材料系

来源：

金属热处理 | 1998年 / 09期

关键词：

多弧离子镀,（TiFeCr）N多元膜,高速钢基体;

D O I：

10.13251/j.issn.0254-6051.1998.09.002

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

研究了多弧离子沉积（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的性能，并与同一设备下沉积ＴｉＮ膜的性能进行比较。结果表明，（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的力学性能和耐蚀性能均优于ＴｉＮ膜。定量金相分析结果表明，（ＴｉＦｅＣｒ）Ｎ多元膜的孔隙度比ＴｉＮ膜低得多。文中对多元膜的强化机理进行了讨论，认为孔隙度降低是使多元膜性能大幅度提高的主要原因。

引用

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