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常规扫描电子显微镜的特点和发展
被引：22
作者：
干蜀毅
机构：
[1] 合肥工业大学精密仪器系!合肥
来源：
关键词：
扫描电子显微镜;
环境扫描电子显微镜;
环境二次电子探头;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了常规扫描电子显微镜（SEM）的工作原理、缺陷及采取的改进措施。由此发展起来的环境扫描电子显微镜（FSEM）的性能已大幅度提高，其使用范围和领域大为扩展。
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