微电子机械系统中构件的基本力学量检测

被引：8

作者：

王琪民

单保祥

连东侠

张培强

机构：

[1] 中国科学技术大学

来源：

实验力学 | 1997年 / 04期

关键词：

微机电系统（MEMS），力学量检测;

D O I：

暂无

中图分类号：

O348.3 [机械测定法];

学科分类号：

080102 ;

摘要：

本文就近几年在ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）基本力学量测量技术的最新发展及其特点、意义、进行了较全面的综述。内容包括：ＭＥＭＳ所用材料的基本力学参数测量（如Ｅ、Ｇ、μ），材料的摩擦与摩损的测量，ＭＥＭＳ结构内应力、应变的测量，结构的动态参数和机构运动速度的测量等，为ＭＥＭＳ的研究提供有益的参考。

引用

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