石墨烯的化学气相沉积法制备

被引:82
作者
任文才
高力波
马来鹏
成会明
机构
[1] 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室
关键词
石墨烯; 制备; 化学气相沉积法; 转移;
D O I
暂无
中图分类号
O613.71 [碳C];
学科分类号
070301 ; 081704 ;
摘要
化学气相沉积(CVD)法是近年来发展起来的制备石墨烯的新方法,具有产物质量高、生长面积大等优点,逐渐成为制备高质量石墨烯的主要方法。通过简要分析石墨烯的几种主要制备方法(胶带剥离法、化学剥离法、SiC外延生长法和CVD方法)的原理和特点,重点从结构控制、质量提高以及大面积生长等方面评述了CVD法制备石墨烯及其转移技术的研究进展,并展望了未来CVD法制备石墨烯的可能发展方向,如大面积单晶石墨烯、石墨烯带和石墨烯宏观体的制备与无损转移等。
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页数:10
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