共 3 条
变包含角平面光栅单色器光斑横移分析
被引:1
作者:
吴坤
[1
,2
]
薛松
[1
]
卢启鹏
[3
]
彭忠琦
[3
]
陈家华
[1
]
邰仁忠
[1
]
机构:
[1] 中国科学院上海应用物理研究所
[2] 中国科学院研究生院
[3] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
来源:
关键词:
变包含角平面光栅单色器;
光斑漂移;
Ansys;
数值模拟;
D O I:
暂无
中图分类号:
TH744.1 [];
学科分类号:
0803 ;
摘要:
介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。
引用
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页码:321 / 325
页数:5
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