变包含角平面光栅单色器光斑横移分析

被引:1
作者
吴坤 [1 ,2 ]
薛松 [1 ]
卢启鹏 [3 ]
彭忠琦 [3 ]
陈家华 [1 ]
邰仁忠 [1 ]
机构
[1] 中国科学院上海应用物理研究所
[2] 中国科学院研究生院
[3] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
关键词
变包含角平面光栅单色器; 光斑漂移; Ansys; 数值模拟;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.1 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。
引用
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页码:321 / 325
页数:5
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