光学制造中频残差对光学调制传递函数的影响

被引：10

作者：

曾雪锋

张学军

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室

来源：

激光与光电子学进展 | 2015年 / 52卷 / 07期

关键词：

光学制造; 中频误差; 成像模型; 调制传递函数; 特征频率;

D O I：

暂无

中图分类号：

O439 [应用光学];

学科分类号：

摘要：

为了研究光学表面制造残差对成像系统性能的影响,提出了基于光学系统出瞳位相差的空间频段误差划分方法,推导出了统计意义下的中频(MSF)误差对调制传递函数(MTF)的影响函数解析式,确定了MTF受中频误差影响的特征分辨率.对比低频(LSF)误差与MSF误差影响的区别,MSF误差导致系统调制传递函数从低分辨率处开始迅速下降,并根据中频影响函数解析式得到MSF误差导致MTF曲率突变特征分辨率.

引用

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