XeCl(308nm)脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜

被引：6

作者：

李铁军

刘晶儒

王丽戈

机构：

[1] 西北核技术研究所高功率准分子激光实验室

来源：

关键词：

类金刚石薄膜，XeCl激光，脉冲激光淀积;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

摘要：

利用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度５×１０８Ｗ／ｃｍ２、室温、真空度１０－３Ｐａ的条件下，制备出不含氢成分的类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱，探讨了类金刚石薄膜的形成机理。

引用

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