精密微小孔激光测量方法

提出了一种测量微小孔的方法，该系统由半导体激光器，步进电机驱动的二维工作台，以微型计算机为基础的控制电路组成，激光头将激光束聚焦在被测工件表面并立即反射回来，反射的光束经过一光学组件到达四象限探测器，工件表面以及孔反射的光通量不同，四象限探测器将光通量转化为电流，此电流送至接口电路及微型计算机处理。实验表明该方法能可靠地获得精密微小孔的测量值。