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超精加工表面粗糙度的激光测量仪
被引：7
作者：
武勇军，李向，曹芒，李达成
机构：
[1] 清华大学精仪系
来源：
关键词：
表面粗糙度，光外差，测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.5 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。
引用
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