微小尺寸测量中的图像处理技术

被引：3

作者：

李罗生

白立芬

李庆祥

于水

何存富

机构：

[1] 清华大学精密仪器及机械学系!精密测试技术及仪器国家重点实验室北京

[2] 清华大学精密仪器及机械学系!精密测试技术及

来源：

清华大学学报(自然科学版) | 2001年 / 08期

关键词：

微小尺寸测量; 小波变换; 同相多次累积; 去噪;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.2001.08.012

中图分类号：

TP391.41 [];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

图像质量是影响光学显微系统微小尺寸测量精度的一个重要原因。介绍了测量系统的组成和工作原理 ,以及光学系统设计上保证成像质量的一些措施 ,探讨了提高图像质量和测量精度的方法。采用小波进行图像去噪 ,很好地去除了图像传输和存储过程中引入的高频噪声 ;为了进一步提高测量精度 ,采用同相累加平均的方法 ,滤除随机信号的影响。实验结果表明可满足超大规模集成电路线宽测量的要求 ,测量重复精度达到了 0 .0 1μm。

引用

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