SiC和Si3N4纳米陶瓷粉体制备技术

被引：21

作者：

黄政仁

江东亮

机构：

[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所

来源：

关键词：

纳米粉体，热化学气相反应法，激光诱导化学气相沉积法，等离子气相合成法，溶胶凝胶法，碳化硅，氮化硅;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1996.05.015

中图分类号：

TQ174.42 [];

学科分类号：

摘要：

纳米材料科学是近年来兴起的新的科学领域，纳米粉体的制备则是纳米材料研究的主要方面。本文比较详细地介绍了制备碳化物、氮化物纳米陶瓷粉体的四种主要工艺：热化学气相反应法、激光诱导化学气相沉积法、等离子气相合成法和溶胶凝胶法。对于目前碳化物、氮化物纳米陶瓷粉体的制备工艺和目前水平作了一个总体概括

引用

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