微电子机械系统进展和趋势

被引：11

作者：

王渭源，鲍敏杭

机构：

[1] 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室，复旦大学电子工程系

来源：

关键词：

微电子机械系统（MEMS），微机械技术，MEMS器件;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN4 [微电子学、集成电路（IC）];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

本文对微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的进展和趋势提出了一些观点性意见，在阐述了微机械技术和ＭＥＭＳ的特点后，强调发展ＭＥＭＳ器件要利用其特点而避免其短处，并为此列举了五个方面成功的ＭＥＭＳ器件。最后，本文讨论了ＭＥＭＳ进一步发展的趋势和提出了我国发展ＭＥＭＳ的意见。

引用

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