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表面微构造的硅材料——一种新型的光电功能材料
被引：12
作者：
赵明
苏卫锋
赵利
机构：
[1] 复旦大学物理系应用表面物理国家重点实验室
来源：
关键词：
飞秒激光;
微构造;
“黑硅”;
D O I：
暂无
中图分类号：
O472.4 [];
学科分类号：
摘要：
在SF6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面 ,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构 ,形成“黑硅”新材料 .初步研究表明 ,这种“黑硅”新材料对波长为 2 5 0— 2 5 0 0nm的光波有大于 90 %的吸收 ,同时它还具有相当好的场致发射特性 .由于具有这些奇特的光电性质 ,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值 .
引用
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页码：455 / 457
页数：3
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