MEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计

被引：8

作者：

文丰

牛芳

张文栋

郭涛

机构：

[1] 仪器科学与动态测试教育部重点实验室

来源：

弹箭与制导学报 | 2006年 / S8期

关键词：

MEMS压力传感器; 温度漂移; 温度补偿;

D O I：

10.15892/j.cnki.djzdxb.2006.s8.061

中图分类号：

TP212.11 [];

学科分类号：

摘要：

文中针对MEMS压力传感器的温度漂移的现象,作了温度漂移原因的分析,以及采取了合适的温度补偿方法,设计了合适的温度补偿电路,通过实验取得了较好的效果。

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页数：4

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共 3 条

[1]

新编传感器技术手册.[M].李科杰主编;.国防工业出版社.2002,

[2]

压力传感器的设计制造与应用.[M].孙以材等编著;.冶金工业出版社.2000,

[3]

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