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值得注目的类金刚石膜
被引：2
作者：
王秀琼
机构：
[1] 湖南大学
来源：
关键词：
类金刚石膜;
淀积;
衬底;
基片;
碳膜;
衍射环;
电子衍射;
碳离子;
粒子束;
离子束;
辉光放电法;
电镜;
电子显微镜;
非晶体;
D O I：
10.13385/j.cnki.vacuum.1984.02.009
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