微机械惯性仪表的原理结构与制造技术

被引：4

作者：

高钟毓

机构：

[1] 清华大学精密仪器系

来源：

关键词：

微机械陀螺仪,微机械加速度计,微机械惯性测量组合,微结构制造技术;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.1997.02.001

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

介绍了微机械惯性仪表（包括微机械陀螺仪、微机械加速度计及微惯性测量组合）在世界各国的进展，阐述了它们所采用的结构方案、电路原理以及制造工艺，比较了各种主要制造技术的优缺点，提出了在我国开展这一领域研究有实用前途的技术途径

引用

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