基于投影栅相位法的透明体表面微观形貌测量

投影栅线相位法通常用于宏观三维形貌的测量 ,本文提出将其应用于透明体微观形貌领域的测量 ,从而拓展了测量方法的测量领域。实际测量了准分子激光近视治疗仪加工的有机玻璃试样 ,给出了表面的微观形貌。系统的横向分辨率小于 1μm,纵向分辨率小于 0 .1μm。根据微观形貌计算了描述表面光洁度的参数 ,为计算激光束能量分布及治疗仪的校准提供了依据。