冷等离子体表面改性设备的研制

被引：7

作者：

胡建芳

郭淑静

李和利

马岩

钱露茜

机构：

[1] 中央民族学院物理系

[2] 中央民族学院物理系北京

[3] 北京

[4] 北京

来源：

关键词：

表面改性; 小批量产品; 机理性; 表面性质; 反应室; 辉光放电; 电晕放电; 电晕; 表面能; 改性效果;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．

引用

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