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冷等离子体表面改性设备的研制
被引：7
作者：
胡建芳
郭淑静
李和利
马岩
钱露茜
机构：
[1] 中央民族学院物理系
[2] 中央民族学院物理系 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
表面改性;
小批量产品;
机理性;
表面性质;
反应室;
辉光放电;
电晕放电;
电晕;
表面能;
改性效果;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．
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页码：614 / 618
页数：5
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