水浴条件下YAG倍频激光切割Si片的实验研究

被引：8

作者：

凌磊

楼祺洪

李抒智

叶震寰

董景星

魏运荣

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所上海

[3] 上海

来源：

关键词：

YAG固体倍频激光; 切割; Si片; 水浴;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

用Nd∶YAG固体倍频激光器在水中对Si片进行微刻蚀比在空气中产生的飞溅物少。对两种条件下的刻蚀速率、刻槽表面形貌进行了比较。实验结果得到最窄的刻缝宽度小于 5 0 μm ,表面不平整度小于 5 μm ,为工业用激光切割Si片提供了更好的工艺

引用

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