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平行度测试仪原理及其测量精度分析
被引:23
作者
:
贺和好
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机构:
中国科学院长春光学机密机械与物理研究所质检中心
贺和好
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叶露
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周兴义
沈湘衡
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机构:
中国科学院长春光学机密机械与物理研究所质检中心
沈湘衡
机构
:
[1]
中国科学院长春光学机密机械与物理研究所质检中心
来源
:
光电工程
|
2007年
/ 05期
关键词
:
平行度检测;
五棱镜;
光电测量系统;
光轴平行度;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TG839 [其他形位偏差测量仪];
学科分类号
:
摘要
:
平行度测试仪是检测大型光电经纬仪多光轴系统平行度的设备,要求平行度测试仪的精度要达到0.5″。方法是利用一块反射镜和两块五棱镜将一束准直光束分光成两束平行光束,大型经纬仪的两个光学系统分别接收这两束平行光,两束平行光所成像的脱靶量差值即为两光学系统的光轴平行度。利用两个精度为0.1″的自准直平行光管和一块平面反射镜检测平行度测试仪精度。经检测标定后平行度测试仪的精度可达到0.5″,能够很好的满足检测平行度为2″的光学系统的检测。
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