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微流动系统的发展概况
被引:22
作者
:
尹执中
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0
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0
机构:
清华大学
尹执中
胡桅林
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机构:
清华大学
胡桅林
论文数:
引用数:
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机构:
过增元
机构
:
[1]
清华大学
来源
:
流体机械
|
2000年
/ 04期
关键词
:
微机电系统;
微流动系统;
微型传感器;
微型泵;
微型阀;
微通道;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH-39 [机电一体化];
学科分类号
:
080202 ;
080401 ;
080805 ;
0811 ;
摘要
:
概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀、微型通道及微流动系统的结构特点
引用
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页码:33 / 36+3 +3
页数:5
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[1]
A fluid handling system for a chemical microanalyzer .2 Dario P et al. J. Micromech. Microeng . 1996
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A fluid handling system for a chemical microanalyzer .2 Dario P et al. J. Micromech. Microeng . 1996
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