微流动系统的发展概况

被引:22
作者
尹执中
胡桅林
过增元
机构
[1] 清华大学
关键词
微机电系统; 微流动系统; 微型传感器; 微型泵; 微型阀; 微通道;
D O I
暂无
中图分类号
TH-39 [机电一体化];
学科分类号
080202 ; 080401 ; 080805 ; 0811 ;
摘要
概括介绍了微流动系统的发展情况 ,特别介绍了微型传感器、微型泵、微型阀、微型通道及微流动系统的结构特点
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共 1 条
[1]  
A fluid handling system for a chemical microanalyzer .2 Dario P et al. J. Micromech. Microeng . 1996