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ZnO薄膜原子力显微镜图像的多重分形谱
被引：16
作者：
孙霞
熊刚
傅竹西
吴自勤
机构：
[1] 中国科学技术大学基础物理中心!合肥
[2] 中国科学技术大学物理系!合肥
来源：
关键词：
多重分形;
薄膜样品;
标度不变性;
衬底;
基片;
基准面;
概率方法;
数论方法;
原子力显微镜;
图像;
ZnO;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
用原子力显微镜测定了Si衬底 ,未退火和退火ZnO薄膜的表面形貌 ,为了获得AFM图像的多重分形谱 ,比较了 5种计算局域高度分布概率的方法 (相对平均高度的方差、相对平均高度的绝对偏离、以粗糙表面最低点为基准面、以一定深度为基准面和以薄膜平均底面为基准面 ) .发现前三种方法在小概率的子集起主要作用时不能很好地满足标度不变性 ,后两种方法则能很好地满足标度不变性 ,其范围可达三个数量级 ,并且可以对不同样品进行定量的比较 .
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页数：10
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