TiAlN/Ti多元复合涂层的界面结构

被引:10
作者
熊仁章
夏立芳
白羽
雷廷权
机构
[1] 五二研究所宁波分所!浙江宁波
[2] 哈尔滨工业大学!黑龙江哈尔滨
关键词
多弧离子镀; TiAlN多元复合涂层; 界面结构;
D O I
暂无
中图分类号
TG174.453 [陶瓷复层];
学科分类号
摘要
利用多弧离子镀方法 ,在HSS钢基体上沉积了TiAlN/Ti多元复合涂层 ,通过AES、XTEM以及EDS等手段 ,研究了涂层的界面结构 .结果表明 ,在TiAlN -Ti界面、Ti-HSS界面分别存在Ti2 AlN和FeTi界面相 ,Ti2 AlN是在涂镀过程中直接沉积而来 ,而FeTi界面相则是通过扩散作用生成的 ,它的基体中的M有一定的位相关系 .
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共 1 条
[1]  
High hate reactively sputtered TiN coating on HSS drill .2 SPROUL W D,ROTHSTEIN R. Thin Soid Films . 1985