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TiAlN/Ti多元复合涂层的界面结构
被引:10
作者
:
熊仁章
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机构:
五二研究所宁波分所!浙江宁波
熊仁章
夏立芳
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机构:
五二研究所宁波分所!浙江宁波
夏立芳
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机构:
白羽
雷廷权
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机构:
五二研究所宁波分所!浙江宁波
雷廷权
机构
:
[1]
五二研究所宁波分所!浙江宁波
[2]
哈尔滨工业大学!黑龙江哈尔滨
来源
:
材料科学与工艺
|
2000年
/ 02期
关键词
:
多弧离子镀;
TiAlN多元复合涂层;
界面结构;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TG174.453 [陶瓷复层];
学科分类号
:
摘要
:
利用多弧离子镀方法 ,在HSS钢基体上沉积了TiAlN/Ti多元复合涂层 ,通过AES、XTEM以及EDS等手段 ,研究了涂层的界面结构 .结果表明 ,在TiAlN -Ti界面、Ti-HSS界面分别存在Ti2 AlN和FeTi界面相 ,Ti2 AlN是在涂镀过程中直接沉积而来 ,而FeTi界面相则是通过扩散作用生成的 ,它的基体中的M有一定的位相关系 .
引用
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页数:3
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High hate reactively sputtered TiN coating on HSS drill .2 SPROUL W D,ROTHSTEIN R. Thin Soid Films . 1985
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