化学气相沉积/渗透技术综述

被引：12

作者：

李崇俊

马伯信

金志浩

机构：

[1] 中国航天工业总公司四院四十三所

[2] 西安交通大学

来源：

关键词：

化学汽相淀积；化学气相渗透；碳碳复合材料；陶瓷基复合材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB33 [复合材料];

学科分类号：

摘要：

综述了化学气相沉积（ＣＶＤ）技术的最新发展，包括金属有机化合物化学气相沉积、等离子辅助化学气相沉积、激光化学气相沉积；同时介绍了三种用于制备工程材料的快速致密化化学气相渗透（ＣＶＩ）技术，包括强迫流动热梯度化学气相渗透、化学液相沉积、感应加热热梯度快速致密化技术。

引用

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