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掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制
被引：19
作者：
付恩刚
庄大明
张弓
机构：
[1] 清华大学机械工程系
[2] 清华大学机械工程系 北京 香港大学物理系
[3] 香港
[4] 北京
来源：
关键词：
磁控溅射;
ZAO薄膜;
红外反射;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2％Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利 用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了 制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.
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页码：333 / 336
页数：4
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