微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用

被引：2

作者：

张敏

周鑫玲

王向军

机构：

[1] 天津大学精密仪器与电子工程学院,天津大学精密仪器与电子工程学院,天津大学精密仪器与电子工程学院天津,天津,天津

来源：

关键词：

微小气体流量测量; AWM传感器; 尘埃粒子计数器; 浮子流量计;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2003.s2.044

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍一种新型气体流量传感器——AWM系列微桥式气流质量传感器在微小气体流量测量中的应用。简介其原理和在尘埃粒子计数器中的应用,并与浮子式流量计相比较,它可使尘埃粒子计数器体积减小、操作简便、检测精度提高。

引用

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