光纤阵列中纤芯间距的检测系统

在光通讯器件中,由光纤阵列和光波导封装而成的光波导分路器芯片,有着广泛的应用。光纤阵列与光波导封装的关键技术在于实现光纤阵列与光波导的低损耗耦合。然而,光纤阵列中纤芯分布的均匀性将会直接影响到耦合的性能,因此,需要对光纤阵列的纤芯分布进行检测,以选择分布均匀的阵列用于和光波导的耦合。系统利用显微视觉和纳米微驱动平台搭建硬件平台,利用最小二乘算法和亚像素图像处理技术提取纤芯的中心,实现纤芯间距的在线检测,纤芯间距的检测精度为50 nm。实验验证了该系统能提高测量的效率和精度,具有很强的实际应用价值。