硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

被引：16

作者：

蒋小燕 ^{[1
]}

徐大诚 ^{[1
]}

杨成 ^{[2
]}

谢维钦 ^{[2
]}

王文襄 ^{[2
]}

机构：

[1] 苏州大学电子信息学院

[2] 昆山双桥传感器测控技术有限公司

来源：

关键词：

压阻式压力传感器; 信号调理; 软件补偿;

D O I：

10.13873/j.1000-97872006.01.027

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。

引用

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页数：4