反应烧结碳化硅的显微组织及其导电性的研究

被引：3

作者：

吕振林

高积强

王红洁

金志浩

机构：

[1] 西安交通大学材料科学与工程学院!

来源：

硅酸盐通报 | 1999年 / 05期

关键词：

碳化硅; 显微组织; 电阻率;

D O I：

10.16552/j.cnki.issn1001-1625.1999.05.013

中图分类号：

TQ174.758.812 [];

学科分类号：

摘要：

研究了液态硅参与下的反应烧结碳化硅的工艺参数、显微组织对其电阻率的影响。随着烧结气氛压力和成型压力增加，反应烧结碳化硅中游离硅量减少，电阻率增加。其烧结机理以碳的溶解及碳化硅的淀析过程为主。

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共 4 条

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