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一种简单的显微物镜波面像差测定干涉仪
被引:1
作者
:
向才新
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机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所
向才新
韩昌元
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中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所
韩昌元
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机构:
贾林贤
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机构:
王立升
机构
:
[1]
中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所
来源
:
光学学报
|
1987年
/ 09期
关键词
:
简单的显微物镜波差测定干涉仪;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
提出一种结构简单的显微物镜波面像差测定干涉仪。该仪器可以测定各种倍率物镜轴上、轴外多种波长的波面像差等光学性能参数。并分析了仪器的系统误差。
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F. Twyman,Trans. Faraday Discussions of the Chemical Society . 1920
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