硅微谐振传感器微弱频率变化的提取新方法

被引：2

作者：

赵向阳

史百舟

刘君华

机构：

[1] 西安交通大学电气工程学院!西安,西安交通大学电气工程学院!西安,西安交通大学电气工程学院!西安

来源：

仪器仪表学报 | 2001年 / S1期

关键词：

硅微谐振传感器; 混沌; 共振锁频; 柔性测量;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2001.s1.029

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

由于硅微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在频率变化较弱的特点 ,提高其灵敏度和测试分辨率显得尤为必要 ,所以提出利用系统从混沌状态到大周期状态转变时所表现出的共振锁频性质 ,进行了传感器微弱频率变化信号的仿真实验提取。将带通采样和降采样应用到信号预处理 ,建立了利用混沌的测试系统 ,同时指出该系统能实现传感器不同测试精度和灵敏度要求的柔性测量

引用

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