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用于可见光波段的二元光学混合光学系统的设计与应用
被引：7
作者：
娄迪
白剑
侯西云
杨国光
机构：
[1] 浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
二元光学;
谐衍射透镜;
混合光学系统;
波像差;
D O I：
10.16136/j.joel.2006.01.012
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统。设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下。因为加工误差等因素,其P-V测得约λ/5,但已满足Strehl判据(<λ/4),结果验证了二元光学元件(BOEs)在可见光波段应用的可行性。系统中,二元面采用8台阶3次套刻,掩模最小线宽为102μm。根据测试结果,提出了改进现有系统缺陷的方向和措施。
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