Pt薄膜热敏电阻工艺研究

被引：8

作者：

温宇峰

祖光裕

胡明

张之圣

刘志刚

机构：

[1] 天津大学电子信息工程学院

[2] 天津大学电子信息工程学院天津

[3] 天津

来源：

电子元件与材料 | 2002年 / 09期

关键词：

铂薄膜热敏电阻; 磁控溅射; 基片;

D O I：

10.14106/j.cnki.1001-2028.2002.09.004

中图分类号：

TN371 [通用热敏电阻];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

本项研究目的是制作微型高精度铂薄膜热敏电阻器与集成电路配合,用于工业和科研中温度的精确测量。用高纯铂板作靶材,在玻璃基板上采用磁控溅射方法,制备成Pt薄膜热敏电阻,并在两端制作纯金电极。经测试表明,该Pt薄膜热敏电阻具备良好的线性度和灵敏度,电阻温度系数达到(或接近)3 850 ?06℃1。本工艺条件稳定,适合批量生产。

引用

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