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精密加工和超精密加工技术综述
被引：27
作者：
王先逵
吴丹
刘成颖
机构：
[1] 清华大学!北京市
来源：
关键词：
精密加工;
超精密加工;
先进制造技术;
机械制造;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH161 [机械加工精度理论];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
论述了精密加工和超精密加工技术的范畴、加工方法、系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位；分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发展特点。
引用
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页码：570 / 576+604-605
页数：9
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