微机械电容式加速度计的开环工作模式

被引：3

作者：

李宝清

陆德仁

王渭源

机构：

[1] 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室!上海

来源：

功能材料与器件学报 | 1999年 / 04期

关键词：

微机械; 加速度计; 开环;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作，能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用，导出了相关的灵敏度公式，报导了实验结果和成功地将原闭环工作的±１ｇ量程加速度计直接变为低量程的微机械电容式加速度计的实例，其量程为±０．０１ｇ，线性度优于０－２％。

引用

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