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用于纳米测量的扫描X射线干涉技术
被引：4
作者：
王林
曹芒
李达成
机构：
[1] 清华大学测试技术与仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
扫描X射线干涉仪,纳米测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了该技术的基本原理，全面介绍了国外在该领域的研究现状，并对影响纳米测量的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。
引用
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